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專業鑄就價值,合作成就未來

鏈式清洗機5道/8道/10道

鏈式清洗機5道/8道/10道

主要功能:

設備性能

可調傳動速度:0.5-3m/min

常規運行速度:2.5m/min

產能: Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm

設備有效利用率:≥98%

反射率:≤16%

碎片率:≤0.03%

 

硅片規格

硅片厚度:≥140 μm

硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

 

設備尺寸 

長*寬*高:5060*2250*2120mm

長*寬*高:3710*2650*2120mm

長*寬*高:3810*3050*2200mm

工作寬度:965mm/1515mm/1911mm

傳輸高度:1000±25mm

模塊材料:PP,PVDF

 

傳動

傳動類型:5 lane/8 lane/10 lane

軸間距:50mm/60mm

主傳動軸:17mm,Hexagon

傳動滾輪:Φ32mm

 

方向

工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

 

電力供應

供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制電源:DC 24V

滿載電源:25A/48A

建議最大保險絲規格:48A/63A

 

安裝要求

最小地面承重:750Kg/㎡

最低車間高度:3.5m

無塵室級別:ISO7(10K Class)

環境溫度:17℃<RT<30℃

最大濕度:70%




0512-66163090
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