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專業鑄就價值,合作成就未來

鏈式制絨機5道/8道/10道

鏈式制絨機5道/8道/10道

主要功能:

用于多晶硅片的損傷層去除、制絨、清洗、干燥。



0512-66163090
在線咨詢

設備性能

可調傳動速度:0.5-3m/min

常規運行速度:2.5m/min

產能: Up to 4000 Wafers/H@20mm

           Up to 6800 Wafers/H@20mm

           Up to 8000 Wafers/H@20mm

設備有效利用率:≥98%

刻蝕深度范圍:3.5~4.5μm

碎片率:≤0.03%

 

硅片規格

硅片厚度:≥140μm

硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

 

設備尺寸 

長*寬*高:根據選型確定尺寸

 

傳動

傳動類型:5 lane/6 lane

軸間距:60mm

主傳動軸:17mm,Hexagon

傳動滾輪:Φ32mm

 

方向

工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

 

電力供應

供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制電源:DC 24V

滿載電源:75A

建議最大保險絲規格:100A

 

安裝要求

最小地面承重:75Kg/㎡

最低車間高度:3.5m

無塵室級別:ISO7(10K Class)

環境溫度:17℃<RT<30℃

最大濕度:70%


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